多晶硅原辅料中碳杂质的分析

作者：张新红

来源：云南化工, 2019, 46(01): 83-84.

• 多晶硅
• 碳杂质

碳杂质是多晶硅产品的重要杂质之一。为了更好的控制多晶硅产品中的碳杂质,需要明确碳杂质在生产中的分布及转化原理,寻找控制产品中碳杂质的途径。通过分析多晶硅生产中原辅料中碳杂质的来源和控制方式,进而控制产品中碳杂质。

• 单位
  昆明有色冶金设计研究院股份公司