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摘要
氧化镓材料因具有卓越的特性而逐渐受到人们的关注，由其制备的肖特基二极管具有广阔的应用前景，然而材料本身热导率低，纵向结构器件受自热效应影响较大。通过仿真，对纵向肖特基二极管自热特性的正向、反向和瞬态信号传输的影响进行了研究。结果显示，二极管正向电压超过一定值时，正向电流受自热影响趋向饱和；反向特性在击穿之前没有自热效应；器件N型外延层的结构也会影响温度积累，数据表明当掺杂浓度和厚度超过特定值，自热效应会使I-V曲线恶化；当器件在开关状态工作时，温度积累使得电压较大、持续时间较长的脉冲信号完整性变差。
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