压电陶瓷驱动系统的设计与研究

作者：陈姝雨; 王学亮

来源：现代电子技术, 2020, 43(24): 34-37.

DOI：10.16652/j.issn.1004-373x.2020.24.009

• 压电陶瓷
• 驱动系统
• 系统设计
• 误差项分解
• 精度分析
• 实验验证

针对光刻机投影物镜中使用压电陶瓷对像质补偿镜组进行精密定位控制的需求,设计一种压电陶瓷驱动系统,并着重对其精度性能进行了分析与研究。首先对系统进行了误差项分解,然后对各误差项进行详细的理论计算,最后将所有误差项的影响按最差情况合成,所得结果满足设计要求。进而试制了系统样机,并对其性能进行实验验证,结果表明,压电陶瓷驱动系统的误差不超过80 mV,与理论分析的结果符合,满足压电陶瓷驱动系统的设计指标。

• 单位
  中国科学院大学; 东北大学