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摘要
本发明公开了一种柔性压电式的三维触觉传感器阵列,其结构包括从上至下依次连接的PDMS半球形凸起层、上电极层、纳米结构压电薄膜层、下电极层、印刷电路板柔性基底层；所述纳米结构压电薄膜层为纳米结构ZnO压电薄膜,且位于呈阵列图案化分布的上下电极层之间,形成多个压电敏感单元；所述三维触觉传感器阵列由M×N个相互分离的传感器单元构成,每个传感器单元含一个PDMS半球形凸起和三个压电敏感电容,PDMS半球形凸起将三维接触力传递至三个压电敏感电容,通过三个压电敏感电容产生电荷的大小以测量外界三维接触力。本发明还公开了该柔性压电式的三维触觉传感器的制备方法。本发明具有三维接触力测量、高灵敏度、高柔韧性、动态响应好的优点。
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