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摘要
针对超精密车削表面，提出一种基于多波长散射光特性的表面粗糙度测量方法，以铝合金为例对该方法进行验证。首先建立超精密车削表面形貌—散射光模型并开展验证实验，定量实验结果证明建立的散射光模型平均误差仅为1%。基于散射光模型研究刀痕纹理方向、刀痕宽度(每转进给量)和刀痕高度(表面粗糙度峰谷值)对镜像光反射率的影响，研究结果证明表面粗糙度是影响镜像光反射率的关键因素。在此基础上进一步建立300～700 nm波长范围内镜像光反射率平均值和表面粗糙度之间的定量关系，基于超精密车削表面的测量结果对该定量关系进行验证。所提出新方法获得的粗糙度测量结果与原子力显微镜测量结果吻合，最大相对误差仅为7.5%。
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