用镜像电荷法求取共面互连线寄生参数

作者：王欣; 李征帆; 代文亮; 陈清华

来源：上海交通大学学报, 2004, (5): 729-732,737.

DOI：10.3321/j.issn:1006-2467.2004.05.017

• 超大规模集成电路
• 镜像电荷法
• 复数介质格林函数
• 层次法
• 矩量法

采用介质镜像格林函数法求解芯片中共面传输线的宽频带特性,得到了4层介质结构的格林函数级数表达式,并采用层次法加快了计算速度.研究了半导体Si衬底共面传输线的频变电容和电导参数,其结果与由全电荷格林函数法得到的结果一致.

• 单位
  上海交通大学