摘要
本文为提高热导传感器对待测气体中氢气浓度的测试准确度,通过实验对气体流量、温度、湿度等环境因素对传感器输出的影响进行了测试和分析,得出了各环境因素对传感器输出的影响规律。针对相应规律,提出了一种包含温度、湿度和输出电压等变量的多参数补偿方案,并对该补偿方案进行了实验验证,发现该补偿方案可使传感器在各温度点、各湿度点、各浓度点的测试准确度保持在±3%FS以内,使传感器的测试准确度获得极大地提高。
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单位中国电子科技集团公司第四十九研究所; 机电工程学院; 哈尔滨工业大学