一种光波导传感芯片及其制备方法以及应用

作者：孙树清; 张亚飞; 王桂强

来源：2016-04-06, 中国, CN201610211591.6.

本发明公开了一种光波导传感芯片及其制备方法以及应用,制备方法包括以下步骤：1)在基底材料上制备金膜得到金膜基底,将金膜基底进行处理：浸入巯基硅烷溶液中处理后用酸溶液处理；或者,浸入巯基烷醇溶液中处理；2)将金膜基底直接浸入温度为60～70℃的溶液中静置48～120h,至生长出所需厚度的二氧化硅薄膜；所述液为十六烷基三甲基溴化铵、水、乙醇、质量分数为25％的浓氨水和正硅酸乙酯的混合溶液；其中,乙醇：水：浓氨水：正硅酸乙酯的体积比为(18～20):(30～32):(0.004～0.032):(0.032～0.048),每50mL的混合溶液中包含0.08～0.12g的十六烷基三甲基溴化铵；3)干燥处理。本发明的制备过程简单,且易于控制生成的二氧化硅薄膜的厚度从而达到超高灵敏度。

• 单位
  清华大学深圳研究生院