IGCT器件制造中的阴极梳条成型技术

作者：张明

来源：大功率变流技术, 2006, (06): 15-18.

DOI：10.13889/j.issn.2095-3631.2006.06.004

• IGCT
• 梳条
• 硅刻蚀
• 旋转喷射腐蚀 IGCT
• fingers
• silicon etching
• spin spray etching

概述了电子器件中的各种硅刻蚀技术,提出了新的旋转喷射硅腐蚀方案,对2种酸腐蚀挖槽方法进行了试验对比。新方法应用于集成门极换相晶闸管(IGCT)器件的梳条成型工艺,获得精密的阴极图形,器件的开关性能优良。

• 单位
  株洲南车时代电气股份有限公司