一维原子刻蚀的数值模拟(英文)

作者：何明; 李若虹; 王晓锐; 王谨; 詹明生

来源：计算物理, 2004, (03): 327-332.

• 原子刻蚀
• 激光驻波场
• 量子力学数值模拟

通过直接的数值模拟,分析了原子束在激光驻波场下传播的动力学行为.估计了Cr原子沉积在基片上的焦点的大小,同时还发现一些实验参数会影响原子刻蚀的精度:如原子束的速度分布、激光的失谐量和激光束的直径等.

• 单位
  中国科学院; 中国科学院武汉物理与数学研究所