主要研究a-Si∶H(p)作为电池的发射极和ITO作为电池载流子收集层的材料性能及结构对HJT电池性能的影响。通过调整a-Si∶H(p)材料的掺杂浓度、材料厚度和ITO的氧气/氩气分压、功率等工艺参数,获得工艺参数、材料性能和电池性能之间的关系。借助a-Si∶H(p)和ITO工艺优化,电池的填充因子FF达到80.2%,转换效率Eff可达23.05%。