电场中微梁结构的建模与分析

作者：黄昕; **林; 崔升

来源：复旦学报(自然科学版), 2004, (03): 418-421.

• MEMS
• 有限元
• 仿真

研究微机电系统 (MEMS)中微梁结构在非线性电场力下的振动问题 .重点讨论对非线性电场力的处理方法 ,建立相应的力学振动模型 ,用计算机仿真 (Simulink)模拟该模型 ,并用有限元的方法计算梁的振动 .最后给出微梁中点对初始位移响应的峰值所对应的振动频率随梁质量和外加电压的变化

• 单位
  复旦大学