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摘要
光子调制器是光纤通信系统中的核心器件，主要对光信号进行调制，实现信号从电域到光域的转换。随着硅基半导体工艺的发展，硅基光子调制器逐渐成为了主流硅光子器件，基于硅工艺技术的GHz带宽调制器的实现也为硅光子学的发展奠定了基础。SiGe光吸收调制器作为一种用于短距离光互连的高性能光调制器，正受到越来越多的关注。文中讨论了高性能SiGe电光调制器的发展现状，主要对国内外硅基光子调制器的研究进展进行分析，讨论了PIN、PN结等常见的电学调制结构，为未来继续研发高速率、低损耗的光子调制器提供了思路。
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