基于PDMS微结构介质层的柔性电容式压力传感器

作者：李文望; 张贺; 杨雨程; 谢昂达; 姜佳昕; 罗志伟; 郑高峰; 王翔^*

来源：厦门大学学报(自然科学版), 2023, 62(04): 525-532.

DOI：10.6043/j.issn.0438-0479.202208046

• 可穿戴设备
• 聚二甲基硅氧烷
• 微结构
• 电容式压力传感器
• 灵敏度
• 3D打印

近年来，为了满足人工智能、物联网和可穿戴设备的发展需求，高灵敏度、低成本的柔性压力传感器的设计和制备引起了研究人员的广泛关注.本文以聚二甲基硅氧烷(PDMS)四棱柱微结构薄膜作为传感器的介质层，以银纳米线-聚对苯二甲酸乙二醇酯(AgNW-PET)透明导电膜作为传感器的上下电极层，制备了一种具有“三明治”结构的柔性电容式压力传感器.采用压力装置以及电容采集装置对传感器的性能进行测试.测试结果表明，在0～0.18 kPa压强范围内，该传感器的灵敏度可达0.63 kPa-1,并且具有较低的迟滞性，较快的响应时间和恢复时间，以及较好的重复性和稳定性，能检测到0.73 Pa的微小压力.最后，展示了传感器在接触检测和接近感应中的应用.

• 单位
  厦门大学; 厦门理工学院