H原子与SiF_n(n=1~4)反应机理的理论研究

作者：马琳; 孙仁安; 官文佳; 王艳丽

来源：辽宁师范大学学报(自然科学版), 2006, (03): 321-324.

• SiFn
• 反应机理
• 过渡态
• DFT SiF_n
• reaction mechanism
• transition state
• DFT

采用密度泛函理论(DFT)B3LYP方法,在6-311G(2d,2p)基组下,研究了H原子与SiFn(n=1~4)的反应历程.通过振动频率和内禀反应坐标(IRC)分析,对过渡态进行了确认.在QCISD/6-311G(2d,2p)水平上进行了单点能计算,并进行了零点能校正.结果表明:在单重态下H原子倾向于添加到Si原子上,而二重态和三重态下H原子倾向于夺取F原子.在H原子一步步夺取F原子的反应过程中,主要产物为SiHF3,Si原子在副反应中生成.由于副反应能垒较高,在真实体系中生成Si原子很困难,由此我们推断实际反应中加入的衬底起到了关键作用.

• 单位
  中山大学; 化学化工学院; 辽宁师范大学