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摘要
以共轭涡旋光干涉原理为基础，理论分析了干涉图像旋转角度和位移量的对应关系，利用光学仿真系统验证了理论的可行性。采用基于空间光调制器和改进型的马赫-泽德干涉仪组成的共轭涡旋光干涉测量系统，利用不同拓扑荷数的共轭涡旋光实验测量了纳米位移台的位移变化。实验结果表明，在位移量为100 nm、200 nm和250 nm的情况下，拓扑荷数为3时的相对误差最小，分别为2.19%、1.28%和1.27%。研究结果有助于提高基于共轭涡旋光干涉位移测量的精度。
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单位中北大学; 机电工程学院
