为了研究Ag/TiO2复合薄膜对甲醛气体的气敏特性,采用表面等离子体共振(SPR)技术,搭建实验测试平台,并得出了实验测试结果。随着薄膜表面甲醛气体浓度发生变化,SPR曲线的共振吸收峰的位置、吸收深度及峰宽都会发生改变。分析了SPR共振角随甲醛浓度变化的关系,计算不同甲醛浓度范围内的灵敏度和分辨力。结果表明甲醛浓度在181～200 mg/L范围内,灵敏度达到最高为2.03×10-1°/(mg/L),最小能够分辨的甲醛浓度变化为4.9×10-4 mg/L。
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