多晶硅氢化炉热场部件革新

作者：罗平; 蔡永明; 顾国宝; 刘阳赞

来源：云南冶金, 2018, 45(04): 51-54.

• 多晶硅
• 氢化炉
• 保温罩
• 加热体

多晶硅氢化炉热场部件是影响氢化炉稳定运行的关键因素,通过分析研究原有热场材料存在的缺陷,改进热场结构及材质,以提升热场部件使用寿命,确保氢化炉的稳定运行。