扩散泵的现状及发展趋势

作者：张志军; 张世伟; 韩进; 徐成海

来源：真空, 2019, 56(05): 12-20.

DOI：10.13385/j.cnki.vacuum.2019.05.03

• 扩散泵
• 特点
• 历史
• 现状
• 前景

本文简述扩散泵的原理、特点、分类、用途,回顾国内扩散泵发展的历史进程,分析扩散泵的现实水平、状况,探讨扩散泵未来的发展前景。

• 单位
  东北大学; 自动化学院