CMP在线光学终点检测算法研究及应用

作者：***; 杨旭; 史霄; 孟晓云; 杨师

来源：电子工业专用设备, 2021, 50(02): 37-42.

• 化学机械抛光
• 在线终点检测
• 窗口检测
• 算法
• 特征点

介绍了化学机械抛光(CMP)中表面膜层为金属和非金属晶圆的在线终点检测原理。研究了窗口检测算法,实时检测光强变化趋势,抓取趋势特征点,从控制抛光过程,实现CMP在线终点检测。实验结果表明,检测算法可达到预期的检测精度,能够满足生产实际需要。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十五研究所