高精密清洗技术在OLED制备过程中的应用

作者：施利君; 胡磊

来源：中国洗涤用品工业, 2022, (12): 75-79.

DOI：10.16054/j.cnki.cci.2022.12.007

• OLED
• 高精密清洗
• 清洗方法

在OLED生产过程中,需要多次使用到清洗工艺,清洗后基板的洁净度将决定OLED的良率。随着OLED显示屏行业的发展,对清洗工艺及设备的要求越来越严格,制造过程的清洗皆为精密清洗,为了达到良好的清洗效果,必须不断提高洁净技术。