基于MEMS的光力学红外成像

作者：潘亮张青川伍小平段志辉陈大鹏王玮冰郭哲颖

来源：实验力学, 2004, (04): 403-407.

• 红外探测器
• 光学读出
• 红外成像
• 双材料微悬臂梁
• 焦平面阵列 IR detector
• optical readout
• infrared imaging
• bi-material microcantilever
• FPA

非制冷红外成像仪以其优良的性价比和高可靠性而倍受关注。近期 ,非制冷的热机械型红外成像仪有望发展成为新的低价格高性能的红外成像设备。本文提出了一种新型光学读出的红外探测仪。此红外探测仪的核心器件焦平面阵列 (FPA)由无硅基底结构的微悬臂梁阵列构成。每个微悬臂梁独立地把入射的红外热辐射转化为被光学系统探测的热变形。它不需要读出电路、真空腔和制冷装置 ,其理论上的噪声等效温度差接近致冷型红外成像系统 ,而制作成本和难度将大幅降低。制作的无硅基底单层膜结构的FPA ,其单元尺寸为 2 0 0 μm× 1 0 0 μm ,阵列大小为 1 5 0× 1 0 0像素数。实验制作的系统探测到温度为 5 0...

• 单位
  中国科学技术大学; 中国科学院; 中国科学院微电子研究所