小尺寸低折射率差硅基二氧化硅阵列波导光栅(英文)

作者：王文敏; 刘文; 马卫东

来源：光子学报, 2011, (08): 1137-1142.

• 空气槽
• 阵列波导光栅
• 通带宽度
• 硅基二氧化硅技术 Air trench
• Arrayed waveguide grating(AWG)
• Passband width
• Silica on silicon(SoS) technology

随着阵列波导光栅(Arrayed Waveguide Grating,AWG)型器件在光通信系统中的大规模应用,对低成本AWG芯片的需求越来越多.在各种降成本方案中,减小AWG芯片的尺寸是最有效的方法之一.本文介绍了一种新型小尺寸低折射率差硅基二氧化硅AWG的设计.在该AWG中,输入波导/输出波导与平板波导连接的部分制作成两侧为空气槽的高折射率差波导,所以在与输出平板波导连接处的相邻输出波导间距较小,这样可以在设计上缩短平板波导的长度、减少阵列波导的数量,实现较小的AWG芯片尺寸.该AWG的其它部分,如输入/输出波导与光纤耦合的部分、阵列波导光栅等均采用常规的低折射率波导工艺,所以就同时具有与...

• 单位
  武汉光迅科技股份有限公司; 华中科技大学; 武汉光电国家实验室