摘要

采用激光共聚焦显微镜OLS4000精确提取加工表面的三维数据,利用小波函数将其分解成低频和高频信号,并采用频谱分析方法得到表面微观轮廓形貌图。该方法不但可以为获得加工表面精确的数学模型提供保证,也可以较为精确地评定零件的表面形貌。

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