科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
在集成电路测试中，测量系统分析是至关重要的一个环节。它能够体现出测量系统是否准确，对于保证测量数据的质量有很大帮助。介绍了一种测量系统分析方法。首先，对测量系统的稳定性、偏倚、线性、重复性和再现性进行了研究，得到了测量过程总波动值和测量系统波动值；然后，以测量系统的波动与总波动的百分比为参考指标，依据判别准则，判定测量系统的状态，确定了主要误差；最后，并针对问题进行更改，对于提高集成电路测试准确性具有重要的意义。
-
单位中国电子科技集团公司第五十八研究所
