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摘要
本发明公开了一种压电式集成化柔性触觉传感器及其制备方法,该压电式集成化柔性触觉传感器包括双栅结构金属氧化物TFT、位于双栅结构TFT的顶栅电极层上的包含氧化锌纳米线压电薄膜层以及位于纳米压电薄膜层上的上电极,顶栅电极层、氧化锌纳米线或纳米带压电薄膜层以及上电极构成纳米压电敏感单元。该柔性触觉传感器将双栅结构金属氧化物TFT与纳米压电薄膜传感器集成为一体,金属氧化物TFT既作为电荷放大器,又作为阵元开关,实现了高灵敏度、高分辨率、高信噪比、高柔韧性、抗干扰能力强、灵敏度和量程可调的优点。其制备工艺简单、成本低廉并可大面积阵列化制备,能广泛应用于仿生电子系统、可穿戴设备、机器人和医疗健康等多个领域。
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