一种可自动检测宏观缺陷的AOI设备设计探究

作者：毛继禹; 曹斌; 薛凤明; 刘滋旺; 徐铮

来源：科技创新与应用, 2022, 12(07): 1-3.

DOI：10.19981/j.CN23-1581/G3.2022.07.001

• AOI设备
• 灰度图像
• 可换挡型支撑杆
• 宏观检测机

目前，TFT-LCD行业CF基板的微观缺陷主要依靠AOI设备进行。AOI的原理是通过五点比对法自动对微观缺陷进行锁定；而基板的宏观品质主要依靠Mura设备进行。Mura设备原理是通过钠灯照射，CCD生成精度较低的基板灰度图像，由作业人员人眼进行缺陷的检测，这种宏观检测方法自动化低，依赖人力，准确率的稳定性也很难保证。就此问题，文章提出一种可以自动检测出宏观缺陷的AOI设备，通过算法的添加和优化，在检出微观缺陷的同时，能够准确的监控及检出宏观缺陷，使得宏观缺陷的检出结果更加准确、自动化程度更高，节约大量的人力，有很强的推广意义。

• 单位
  北京京东方显示技术有限公司