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摘要
双光栅Ronchi剪切干涉是一种基于瞳面测量的波像差检测技术，该技术具有无需参考面、共光路测量以及结构简单、易于集成等优点，适用于光刻投影物镜波像差的在线检测。相位提取是采用该技术进行波像差检测的重要步骤，直接影响最终的测量精度。针对双光栅Ronchi剪切干涉仪高阶衍射光影响相位提取精度的问题，提出了一种高精度的相位提取算法，可消除剪切干涉场中±1级衍射光重叠区域内高阶衍射光的干扰，提高剪切相位提取精度。仿真结果表明，该算法的剪切相位提取误差仅存在高频拟合残差，验证了该算法可有效抑制高阶衍射光的干扰。利用剪切率为0.058的双光栅Ronchi剪切干涉系统进行了实验，并与基于双光纤的点衍射干涉仪的测量结果进行对比，两种方法的测量结果具有相同的波像差分布，验证了所提剪切相位提取算法的有效性。
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