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摘要
该文介绍了一种由5×5个半径为200μm圆形阵列组成，应用于水听器的高性能压电微机电系统(MEMS)声波器件，尺寸为3 mm×3 mm。采用钪掺杂(质量分数为20%)增强了AlN薄膜的压电系数，并通过双电极结构配置及优化结构尺寸来增强声压作用下的电信号输出，以实现压电MEMS声波器件具有更好的接收灵敏度。声波器件在空气中的接收灵敏度为-166.8 dB(Ref.1 V/μPa),比相同结构基于AlN薄膜的声波器件约高2.6 dB。在50 Hz～3 kHz带宽范围内，器件灵敏度曲线变化小于1.5 dB,具有平坦的声学响应。结果表明，基于Al0.8Sc0.2N薄膜的压电MEMS声波器件具有更高的接收灵敏度，经水密封装制成的水听器可应用于管道泄漏探测及海洋噪声监测等工程中。
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单位中国电子科技集团公司第二十六研究所
