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摘要
报道了一种利用混合抗蚀剂的一步电子束曝光制备表面增强拉曼散射（SERS）基底的新方法。基于氢倍半硅氧烷（HSQ）和聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）电子束抗蚀剂的混合产生相分离形成纳米球体的现象，并利用合适剂量（2000μC/cm2）电子束曝光、固化纳米球，经显影去除多余残胶后再使用电子束蒸发沉积Au薄膜，得到纳米球型SERS基底。纳米球尺寸分布均匀，相对标准偏差为7.56%，表面粗糙Au层及球之间的间隙能够提供丰富SERS“热点”，从而使其表现出良好的拉曼增强效应。该SERS基底对多种目标物均能表现出良好的检测性能。对4-巯基苯硼酸（4-MPBA）检测的SERS增强因子为5.8×10～6，检测限为1.06×10-8mol/L。对罗丹明6G（R6G）和三聚氰胺的检测限分别达到7.08×10-9mol/L和7.94×10-10mol/L。三聚氰胺的检测范围为1.0×10-9～1.0×10-5mol/L，跨度达4个数量级，并呈现良好线性关系（R2=0.952），检测优势十分显著。这种利用不同性质抗蚀剂在纳米尺度独特的分离现象制备纳米球的方法简单、重复性好，对发展新型纳米结构高性能SERS基底及其制备方法具有重要意义。
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