离子辅助沉积对ZnS/MgF_2滤光片光谱漂移的影响

作者：鲁法珂; 顾培夫; 张德景

来源：浙江大学学报(工学版), 2004, (11): 122-125.

• 离子辅助沉积
• ZnS/MgF2
• 窄带滤光片
• 光谱漂移
• 聚集密度 ion-assisted-deposition (IAD)
• ZnS/MgF_2
• narrow band filter
• spectral shift
• packing density

采用霍尔源离子辅助沉积(IAD)技术制备了ZnS/MgF2多层膜窄带干涉滤光片,并与常规沉积条件下制备的样品作比较.结果发现离子辅助沉积明显减小了滤光片的光谱漂移,实测漂移小于0.5nm,光谱稳定性得到很大提高.计算了滤光片中MgF2膜层的聚集密度,离子辅助沉积使MgF2膜的聚集密度从常规条件下的0.70提高到0.97,增幅达38%.间隔层对光谱漂移的影响最大,越远离间隔层的膜层,其影响越小.