等离子体增强磁控溅射制备Ti(Cr)SiC(O)N涂层的结构和力学性能研究

作者：辛欣; 张腾飞; 王愉; 喻燕; 冷永祥; 谢东; 黄楠

来源：稀有金属材料与工程, 2017, (7): 1762-1767.

• Ti(Cr)SiC(O)N
• 含氧涂层
• 微观结构
• 硬度
• 磨损

采用等离子体增强磁控溅射(PEMS)方法分别在硬质合金和硅片上制备了TiSiCN,TiSiCON,TiCrSiCN,TiCrSiCON,CrSiCN和CrSiCON涂层.采用XRD、SEM、EDS、显微硬度计及销盘式摩擦磨损试验机对含氧涂层和不含氧涂层的微观结构、成分和力学性能进行了研究.结果表明,TiSiCON,TiCrSiCON和CrSiCON含氧涂层为TiN型(或CrN型)面心立方(fcc

• 单位
  西南交通大学