基于亚波长光栅的高集成度垂直光耦合器

作者：赵然; 孙崇磊; 徐晓; 赵佳^*

来源：光学学报, 2020, 40(14): 26-31.

• 光栅
• 亚波长结构
• 耦合器
• 亚波长光栅
• 异质集成

设计了一种基于亚波长光栅的具有高集成度、高耦合效率的垂直光耦合器,在1.5～1.6μm波长范围内实现了大于97%的耦合效率,且器件长度仅为15μm,是传统基于绝热拉锥波导的垂直耦合器尺寸的十分之一,提高了系统的集成度。在亚波长光栅占空比、拉锥波导尖端尺寸以及波导错位方面,所设计的耦合器均具有较大的工艺误差容限,在异质集成领域展现出了良好的应用前景。

• 单位
  山东大学