本发明属于薄膜电极材料领域,公开了一种显示用电子器件铜互连布线电极及其制备方法。所述铜互连布线电极包括衬底及衬底上的铜合金薄膜层,所述铜合金薄膜的材料成分由Cu、Cr、Zr和Pr组成。以磁控溅射方法、自溅射方法、离子溅射方法、化学气相沉积方法、蒸发方法或电化学方法在衬底上沉积铜合金薄膜层,得到显示用电子器件铜互连布线电极。本发明的制备方法简单,所制备的导电电极具有结合强度高,电阻率低的特点。
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