集成电路制造中的厂房洁净室暖通设计

作者：申伏龙

来源：集成电路应用, 2023, 40(01): 126-127.

DOI：10.19339/j.issn.1674-2583.2023.01.052

• 半导体洁净室
• 暖通系统
• 高效风机盘管

阐述暖通系统根据环境因素对机组进行控制。随着洁净室暖通行业的发展，半导体洁净室MAU+FFU+DCC被广泛应用，采用高效机组以及高效风机盘管等高效节能的暖通设备。