介绍了组分调制多层膜的结构特征、超常性能及其制备方法。总结了多层膜合金化法,并对其合金化程度影响因素进行了分析。对抗高温氧化合金、抗高温氧化合金的镀层进行了介绍并对组分调制多层膜合金化制备抗高温氧化合金镀层的优越性和可行性进行了分析。最后对抗高温氧化合金的发展进行了展望。