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摘要
本实用新型公开了一种基于主动隔振的宏微双驱动精密定位装置,包括机械运动本体单元、检测单元及驱动控制单元；所述机械运动本体单元包括定位装置底座、U形台、微动平台、有铁直线电机及APA驱动器；所述检测单元包括用于检测U形台位移量的光栅位移传感器、用于检测微动平台位移量的激光干涉仪及用于检测微动平台相对U形台水平方向振动量的电容位移传感器；所述控制单元包括直线电机伺服放大器、APA线性放大器、运动控制卡、计算机及数据采集卡,该装置采用主动振动的方式进行隔振,有效的减少了因机器振动对定位平台的影响,能进一步地实现更高精度的定位。
- 单位
