高折射率球罩类零件对导引头光电产品起着至关重要的作用,镀膜表面划伤、光谱曲线不均匀、边缘容易脱膜等问题一直困扰着该类零件的薄膜制备。通过选用合适的镀制装夹材料、设计宽角度入射膜系、大功率离子源辅助等措施,提升了该类零件的镀膜质量。