真空镀膜机电子束蒸发器工作原理及故障处理

作者：李凯

来源：设备管理与维修, 2023, (11): 66-67.

DOI：10.16621/j.cnki.issn1001-0599.2023.06.26

• 真空镀膜机
• 电子束蒸发器
• 故障处理

根据Leybold真空镀膜机电子束蒸发器的工作原理，结合实际维修经验，分析电子束蒸发器常见故障的成因，梳理排查步骤及解决措施，总结蒸发器日常使用中的注意事项。

• 单位
  中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所