大尺寸结构件变形的准确测量是保障其加工精度的重要手段。本文采用结构光扫描方式对大尺寸结构件表面进行扫描,通过点云数据处理分析评价平面度指标,并采用坐标测量方式进行试验验证。试验表明:两种方法的测得值具有一致性。同时,基于坐标点数据,进行大尺寸结构件表面平面度的不确定度分析。结果表明:采用高精度坐标测量机测量大尺寸结构件(尺寸达到1000mm)平面度的测量不确定度优于0.01mm。