退火温度对a-C:H膜结构及摩擦学性能的影响

作者：王永霞; 冶银平; 李红轩; 吉利; 陈建敏; 周惠娣

来源：无机材料学报, 2011, 26(02): 209-213.

• a-C:H膜
• 退火温度
• 结构
• 摩擦学性能

为研究环境温度对含氢无定形碳(a-C:H)膜结构和性能的影响,将a-C:H膜在大气环境中进行高温退火处理,并借助红外光谱、拉曼光谱、X射线光电子能谱、3D表面分析仪和球盘摩擦试验机等手段对退火前后a-C:H膜的结构、组成和性能进行了系统地考察.研究发现,在较低的退火温度下(300℃),a-C:H膜结构无明显变化,而其内应力降低,摩擦学性能显著提高;在400℃和500℃下退火,膜结构发生明显变化并伴随严重氧化,同时摩擦学性能降低甚至完全失效.结果表明,退火温度的选择对a-C:H膜的结构、组成及性能具有重要影响.

• 单位
  中国科学院兰州化学物理研究所; 固体润滑国家重点实验室; 中国科学院研究生院