摘要

本文提出一种结合光纤法布里-珀罗干涉(FPI)和表面等离子体共振(SPR)效应的高精度液体热光系数传感器。该传感器利用端面固化了聚二甲基硅氧烷(PDMS)的单模光纤(SMF)和无芯光纤(NCF)在毛细硅管中构造PDMS-Air-PDMS非本征FPI结构,并在NCF侧面镀银纳米膜构造SPR传感单元,实现温度和折射率的高灵敏度测量。通过FPI对SPR传感单元进行温度补偿,消除了交叉干扰。实验结果表明,传感器在1.333~1.371折射率范围内的灵敏度达到2913.68 nm/RIU,在20~80℃温度范围内灵敏度达到597 pm/℃,对无水乙醇进行热光系数测量误差仅为0.82%。该传感器具有高精确度、制作简单、集成度高、无串扰和无交叉敏感等优点,在生物医学和生物化学领域有着广泛的应用前景。