超短紫外到近红外宽波段增透膜的研制

作者：张静; 林兆文^*; 付秀华; 刘冬梅; 张功

来源：光子学报, 2018, 47(10): 123-130.

• 光学薄膜
• 宽波段
• 增透膜
• 隧道方法
• 评价函数

为提高光谱探测器响应灵敏度,减少宽光谱光束入射时产生的光能损失,研制了超短紫外到近红外宽波段增透膜.依据增透膜设计理论,采用隧道方法与自动优化相结合的膜系设计方法,综合考虑膜厚影响因素,建立了评价函数.通过优化沉积工艺,提高了增透膜透射率.光谱测试结果表明,200900nm宽波段范围的增透膜的平均透射率为95.7%,满足光谱探测的要求.

• 单位
  长春理工大学