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摘要
针对主要烟气污染物气体一氧化氮NO/二氧化硫SO2监测存在的温漂大、温度补偿系统体积大、成本高的问题，采用MEMS工艺，研制了一种三电极碳纳米管传感器阵列。该阵列由三个不同极间距的传感器构成，分别检测NO、SO2浓度及温度。研究了极间距、气体浓度和温度对传感器的影响，分析了传感器对气体浓度和温度的敏感机理。三个传感器在不同的气体浓度、不同的温度下，具有不同的单值敏感特性。传感器重复性好、灵敏度高；阵列可以不分离混合气体，直接检测NO、SO2成分及温度，具有温度补偿的功能，能够用于解决烟气污染物检测在工作温度变化时存在的误报问题。
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单位河南城建学院; 西安交通大学
