电子级硫酸属于超净高纯试剂，是一种微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础化学试剂。本文基于精馏脱杂技术、超纯水吸收技术、精馏脱轻技术、精馏脱重技术，提出了一种优化的G1—G5电子级硫酸的制备方法，并将该方法与传统电子级硫酸制备方法进行了对比。本方法制备原材料来源广泛，可实现G1—G5电子级硫酸的选择性制备，且能耗更低，效率更高，具有较好的经济性，适于投入工业生产。
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