针对晶圆制造过程中考虑清洗维护的生产调度联合优化问题，以最小化最大完工时间为求解目标，优化工件加工顺序及维护活动执行时间。证明了该问题为NP难的，建立了问题的整数规划模型并进行线性化。结合机器役龄约束下的成批调度问题特征，证明了解的性质，并设计ERD-LPT-BFLD启发式算法对问题进行求解。构建了考虑工件释放时间及清洁活动约束的下界算法。通过不同规模算例仿真实验，将所提启发式算法与CPLEX及下界算法求解结果进行比较，验证了所提算法的有效性。
科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
