光刻投影物镜中的透镜X-Y柔性微动调整机构

作者：赵磊; 巩岩; 赵阳

来源：光学精密工程, 2013, (06): 1425-1433.

• 光刻物镜
• 柔性铰链
• 微动调整机构
• 系统波像差 lithographic lens
• flexure hinge
• micro adjusting mechanism
• system wavefront aberration

针对光刻投影物镜中透镜X-Y调整机构调整量程小、调整精度高的特点,提出了一种基于柔性铰链的X-Y微动调整机构,并将其应用在光刻投影物镜模型中进行了实验验证。首先,基于机构自由度和机构瞬心等概念介绍了该机构的工作原理。然后,用柔性铰链代替传统铰链完成了该机构的结构设计,并对该机构的运动方向刚度、位移输入-输出比以及固有频率和阵型等进行了仿真分析。分析结果表明:该机构X,Y方向的刚度值为1.99μm/N和1.96μm/N,X,Y方向的位移输入-输出比值分别为-2.5和-2.56,机构X,Y方向运动的原理误差分别为实际量的8.22%和6.68%。最后,将研制的X-Y微动调整机构用于光刻投影物镜验证模...

• 单位
  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室