用于微型光谱仪的硅基多级微反射镜设计与制作研究木

作者：王波; 梁中翥; 孔延梅; 梁静秋; 付建国; 郑莹; 朱万彬; 吕金光; 王维彪; 裴舒; 张军

来源：Acta Physica Sinica, 2010, 59(2): 907-912.

• 傅里叶变换光谱仪
• 多级微反射镜
• 微光机电系统
• 空间调制

提出了一种基于微光机电系统技术实现的空间调制方式的微型傅里叶面变换光谱仪,介绍了其分光干涉系统结构及工作原理.对其核心部件多级微反射镜的制作方法进行了研究,采用硅在KOH溶液中的各向异性腐蚀方法制作多级微反射镜,硅腐蚀后形成的(111)反射面的表面粗糙度均方根小于10 nm.

• 单位
  中国科学院研究生院; 暨南大学; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室