精密表面疵病检测美标数字化评价实现算法

作者：谢世斌; 杨甬英; 刘东; 李阳; 李晨; 赵丽敏

来源：应用光学, 2015, 36(02): 266-271.

• 疵病检测
• 数字化评价
• 美标
• 密集度
• 权重域

采用美国军用标准MIL-PRF-13830B(简称美标)对光学元件表面疵病进行数字化评价,其难点主要在于美标中表面疵病密集度的判定。针对该难点,提出了一种表面疵病密集度判定算法。该算法采用权重域叠加的方法,通过为表面疵病赋予相应的权重域来确定疵病密集圆域,并将权重域间的叠加转换成了矩阵间位置关系的判断和计算,有效的利用了矩阵运算的便利性。实验中通过对已知表面疵病信息的石英标准板进行判定,其得到的圆域即为疪病密集圆域,与预期结果一致,验证了该算法的正确性。目前该算法已经运用于光学车间精密光学元件表面疵病的美标数字化评价。

• 单位
  现代光学仪器国家重点实验室; 浙江大学