串联超导量子干涉器件阵列制备与测试分析

作者：梁恬恬; 张**; 伍文涛; 倪志; 王永良; 应利良; 伍俊; 荣亮亮; 彭炜; 高波

来源：Acta Physica Sinica, 2021, 70(17): 305-310.

• 超导量子干涉器件
• 磁通噪声
• 超导制备工艺

串联超导量子干涉器件（superconducting quantum interference device,SQUID）阵列通过增加 SQUID 数量来达到提升信噪比的目的,即SQUID电压信号随SQUID数目比例增加而总电压噪声正比于SQUID数目的平方根值.本文介绍了利用自主工艺线进行串联SQUID阵列研究的相关研究进展,实现了SQUID数量分别为200和800的阵列集成,测试得到磁通噪声达到0.5 μΦ0/Hz1/2和输入电流灵敏度35 μA/Φ0,等效输入电流噪声达到18 pA/Hz1/2.另外,还给出了阵列参数与集成SQUID数量的关系,验证了设计可靠性和工艺一致性.

• 单位
  中国科学院大学; 中国科学院上海微系统与信息技术研究所; 信息功能材料国家重点实验室